Ống gió phòng sạch yêu cầu cao hơn hệ HVAC thông thường: bề mặt nhẵn – kín khí – vệ sinh, giữ chênh áp dương/âm ổn định theo sơ đồ cascade và tương thích với HEPA box ở đầu cuối. Bài viết tóm lược nguyên tắc thiết kế – lắp đặt – nghiệm thu “đỗ ngay lần đầu”.
1) Mục tiêu: sạch hạt, sạch vi sinh và chênh áp ổn định
Hệ ống gió cho cleanroom phải không phát sinh sợi, dễ vệ sinh, hạn chế nơi đọng bụi, và giữ chênh áp dương ở khu sạch hơn so với khu lân cận (hoặc áp âm với phòng cách ly). Lưu lượng – ΔP được xác định để đáp ứng ACH và cấp độ sạch yêu cầu.
2) Vật liệu và hoàn thiện bề mặt
Ưu tiên inox 304 cho môi trường yêu cầu vệ sinh cao hoặc tôn mạ kẽm sơn phủ bề mặt nhẵn; các mối ghép phải kín – phẳng. Tránh duct liner sợi hở; nếu cần tiêu âm, dùng loại micro-perf packless hoặc vật liệu có facing kín. Bên trong ống không dùng vật liệu dễ bong – mủn.
3) Kín khí: gioăng – mastic và leakage class
Thiết kế đặt mục tiêu leakage class cao để giữ chênh áp và ngăn bụi xâm nhập. Dùng gioăng EPDM liên tục quanh bích, mastic HVAC trám mép Pittsburgh/đầu rive. Kiểm tra độ phẳng – độ vuông bích để gioăng ép đều; thử kín trước khi bọc/cách nhiệt.
4) Tổ chức tuyến: ΔP thấp – góc êm – 3×D
Giữ tuyến ngắn – ít cút gắt, ưu tiên cút bo, chuyển tiếp 1:7–1:10; chừa 3×D trước/sau quạt, van, silencer. Tránh hốc chết đọng bụi; ở các “túi” không thể tránh, bố trí cửa thăm vệ sinh kín khí.
5) HEPA box và kết nối gel seal
HEPA box lắp tại trần/đầu cuối dùng gel seal hoặc gasket cao cấp để tránh bypass. Chừa đoạn thẳng ổn định trước box để phân bố vận tốc đều. Bố trí áp kế vi sai theo dõi ΔP lọc để lên lịch thay lọc và duy trì lưu lượng.
6) Chênh áp – cascade áp trong phòng sạch
Thiết kế chênh áp theo chuỗi không gian (ví dụ: hành lang phụ < airlock < phòng sạch chính). Điều khiển bằng VSD theo áp tĩnh đặt hoặc bằng van lưu lượng, đồng thời dùng cửa gió/van giải áp kín rò thấp để tránh ΔP “vọt” khi cửa đóng.
7) Cấp – hồi – thải trong cleanroom
Một số cấp độ sạch dùng trần thổi xuống (FFU/HEPA box) và hồi thấp để cuốn hạt ra khỏi vùng làm việc. Vị trí hồi cần tránh hút ngắn mạch; mở đều quanh chu vi hoặc theo chiều dòng laminar mong muốn. Đường thải (exhaust) từ khu hóa chất/vi sinh cần vật liệu chịu ăn mòn và giải pháp an toàn riêng.
8) Phụ kiện: cửa gió, van, tiêu âm “đúng chuẩn sạch”
Chọn cửa gió lam kín, bề mặt nhẵn, dễ vệ sinh; OBD chỉ để vi chỉnh, đặt sau lưới/cửa. Van – tiêu âm ưu tiên loại không sợi, có chỉ số vật liệu phù hợp; giữ 3×D để giảm ồn – xoáy.
9) Treo – đỡ và chống rung
Sử dụng trapeze với khoảng treo ngắn – đều để ống thẳng, tránh kênh bích. Gần quạt/AHU dùng khớp nối mềm và giảm chấn lò xo/cao su để hạ NC. Vị trí treo cần chi tiết saddle để không cắt rách vapor barrier khi bọc cách nhiệt.
10) Làm sạch – vệ sinh và vật tư tương thích
Thi công trong môi trường sạch (che bụi, hút bụi sau cắt khoét). Sau lắp đặt, lau rửa bằng dung dịch cho phép, sấy khô; đóng bịt hai đầu khi chờ nghiệm thu để tránh bụi xâm nhập. Vật tư niêm kín phải tương thích hóa chất vệ sinh sử dụng.
11) Kiểm tra – TAB phòng sạch
Thực hiện thử kín tuyến ống; đo lưu lượng – áp tĩnh – ΔP tại tuyến và ΔP chênh áp phòng theo bản đồ cascade. Kiểm tra HEPA integrity tại box/terminal; đo NC tại khu nhạy ồn. Ghi nhận setpoint VSD, vị trí van và lập hồ sơ chuẩn.
12) Lỗi thường gặp và khắc phục
Dùng liner sợi hở → phát bụi: thay bằng micro-perf/packless. Rò bích → mất ΔP: dán gioăng liên tục, trám mastic, siết chéo. Khoét nhánh sau cút → xoáy: dời sang đoạn 3×D. HEPA lắp không đều → rò gel seal: căn phẳng khung, siết theo đối xứng.
Kết luận
Để hệ ống gió phòng sạch đạt cấp độ sạch và bàn giao nhanh, hãy đảm bảo vật liệu – bề mặt nhẵn, kín khí cao, tuyến ΔP thấp, tích hợp HEPA box – gel seal, duy trì cascade chênh áp và hoàn thiện TAB phòng sạch với hồ sơ rõ ràng.
